一臺光刻機有上萬個零部件要在電腦程序的控制下進行復雜協(xié)調(diào)的聯(lián)動,其運動精準程度的誤差不得超過一根頭發(fā)絲的千分之一,這無異于在頭發(fā)上“繡花”!打個通俗的比喻,就如同坐在一架超音速飛行的飛機上,拿著線頭穿進另一架飛行飛機上的針孔。
而光刻機就好像一個人,一個個子系統(tǒng)就如同人體的各種器官。首先,要有總體框架,每個“器官”大小尺寸必須系統(tǒng)設計,否則五花八門,大小不一,不合規(guī)范。其次,即使各個單位制造的“器官”都符合指標要求,但一裝到系統(tǒng)就常常出現(xiàn)問題,這里還存在很多復雜因素。其中的集成經(jīng)驗要通過大量的工程演練才能形成。就如同人經(jīng)常會發(fā)燒生病,有先天體質(zhì)原因,這就是光刻機的性能指標;也有后天因素,這就要靠“醫(yī)生”也就是集成部門去診斷,技術(shù)人員不僅要“驗血檢查”,還要告訴供應商真正的病根。
比如說,今天天氣和溫度變了,空氣壓力變了,設備的對焦就不準確了。這需要研發(fā)部門的人做仿真模擬,研究空氣對哪些部件有影響,或許這其中會遇到一個問題,百思不得其解,往往需要花費無數(shù)的時間才能解決。任何集成都是創(chuàng)新,在這個過程中研發(fā)部門都經(jīng)常會遇到死胡同,為了絕地反擊,起死回生,除了大把的往里面砸資金以外,別無他法!
光刻機就像一臺精密復雜的特殊照相機,是芯片制造中“定義圖形”中最為重要的一種機器。
每顆芯片誕生之初,都要經(jīng)過光刻技術(shù)的鍛造。光刻機就像個以光為刃的鑄劍高手,將硅片從一粒頑石變?yōu)橹腔壑X,一閃之間,母版上復雜的電路設計圖形即轉(zhuǎn)化為硅片上細微繁密的溝壑紋理。誰掌握了這種利刃,就擁有了集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展水平的技術(shù)掌控權(quán)。各發(fā)達國家政府一直對相關(guān)戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)持續(xù)投入,爭取戰(zhàn)略競爭優(yōu)勢,在此領(lǐng)域,荷蘭、美國、日本早已虎踞龍盤。
前世的尼康公司創(chuàng)建于1917年,由當時在日本領(lǐng)先的3家光學儀器制造部門合并組成,現(xiàn)有職員6900余人。于60年代中期涉足半導體制造領(lǐng)域,1980年介入stepper步進曝光機制造領(lǐng)域,至今已向世界市場提供了6200余臺stepper,自1996年起stepper年銷售額20億美元便超過了公司年銷售額約35億美元的一半以上,達60%。2000年尼康公司的stepper全球銷售額達24.3億美元,占當年全球光刻設備市場41%的份額。自1985年起,nikon公司的stepper全球銷量便取代了gca公司多年來1978~1984年的霸主地位當年nikon公司145臺,gca公司115臺,之后其產(chǎn)量逐年上升,到1996年財政年度1996年3月~1997年3月nikon公司stepper年銷售量創(chuàng)歷史最高記錄,達到900余臺,占當年世界stepper市場銷售量1530臺的3/5,從1985年2001年,尼康公司已連續(xù)獨霸世界stepper市場之首達16年之久。
而前世同屬日本的佳能公司創(chuàng)建于1937年,其前身為“精機光學研究所”,是全球著名的跨國公司,1970年開始涉足半導體制造領(lǐng)域,更是早于尼康在1978年推出激光自動對準光刻機“p-500fa”,1979年推出了第一臺1:1反射投影光刻機“mpa-500fa”,1984年推出第一臺商品化步進重復縮小投影光刻機“fpa-1500fa”,1990年推出第一臺i線光刻設備“fpa-2000ii”,整個80年代公司以生產(chǎn)1へ1反射投影光刻機為主導光刻設備。截止1991年,其向世界市場提供p300~p600fa系列光刻設備3000臺。進入90年代之后,該公司的光刻設備轉(zhuǎn)向了以stepper為主。1996年的市場銷售額達12.12億美元,在當年世界十大半導體設備公司中排序第五,在stepper銷售市場中排名第二尼康、佳能、a**l。其stepper市場主要集中在日本和歐洲,2000年的全球市場銷量為260臺,2001年約為400臺。
然而,花無百日紅,人無千日好。
前世的a**l公司從2011年起已經(jīng)壟斷了高端芯片曝光機市場,也控制了中低端芯片曝光機市場80%的份額,同時擁有整個芯片曝光機市場105%的利潤因為尼康尼是虧損的,此后,a**l的壟斷格局更加明顯了,佳能識時務,2008年開始逐步退出芯片曝光機業(yè)務,停止虧損,專注于打印機業(yè)務。日本最大財團三菱集團不甘心失去這個領(lǐng)域的產(chǎn)能,竭盡全力支撐尼康的芯片曝光機,虧損也不愿意退出,不過結(jié)果是越陷越深。
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